干式真空泵的运用范畴普遍，在其中和它的五种方式有一定的关联，不清楚大家针对干式真空泵的五种方式掌握是多少，不了解也没事儿，文中就为大伙儿详细介绍这些方面的专业知识。
一、双圆碎片式
双圆碎片式的多级别设计方案促使汽体通道非常繁杂，而且每一级都必须很大总流量的N2具有稀释液和隔离作用。另外，为了更好地做到好的真空值，对各个的空隙有十分严苛的规定。自然，这类设计方案因为提升了內部的发动机压缩比而促使其用电量相对性较低。
二、三叶圆碎片式
三叶圆碎片式设计方案和所述方式设计方案的基本原理同样，仅仅在转动一圈里将汽体分成三份而不是像双圆碎片式分成二份。为了更好地进一步减少用电量，在传动系统一部分有的生产厂家采用2个直流马达，但这也会造成 扭距减少，重启的工作能力—降低。
三、整体式（罗次 爪）
整体式（罗次 爪）设计方案用罗次来提升 在较低工作压力下的抽真空高效率，用爪来提升 在较高工作压力下的抽真空高效率。它的基本概念和汽体通道同前边详细介绍的圆碎片式设计方案同样。也一些生产厂家将其最终一级改成星形设计方案，那样能够在转动一圈里将汽体分成五份，如同三圆碎片式设计方案能够将其分成三份。
四、外界缩小型螺杆式压缩机
在外界缩小型螺杆式压缩机设计方案中，应用一对定距挤出机螺杆。这促使內部缩小减少，另外促使汽体通道简易。那样，汽体在泵身体滞留的時间也短。这类设计方案但在繁杂的半导体材料加工工艺中主要表现出的可靠性十分强。
五、內部缩小型螺杆式压缩机
挤出机螺杆间容量的持续减少促使其內部造成缩小。在许多加工工艺中，这类內部缩小同多级离心泵一样，非常容易导致汽体在泵身体的物理学转变而造成干固或汽化。
根据前文的详细介绍大家掌握到干式真空泵的五种方式，在之后的应用全过程中我们可以依据自身的要求来挑选它的方式。
