目前各种真空泵的开展愈来愈遭到真空应用场所的影响，普通的真空系统无法满足清洁无油的耐腐蚀的请求，因而近年来干式真空泵市场需求量很大，真空获得产品曾经呈现更新换代的场面，大量的有油真空系统曾经被无油清洁的真空系统所替代。
国外简直每一家较大的真空公司都消费各种不同型式的干式真空泵。螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是20世纪90 年代初期呈现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽、构造简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点占领市场，但其制造技术大局部为国外控制，我国尚处于起步阶段，市场对于干式泵有迫切的需求。
一、现状：
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前曾经成为微电子、半导体、制药、精细加工等行业首选真空取得设备。日本在螺杆紧缩机根底上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线并投入市场。德国几家真空设备公司也逐渐开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研讨。
螺杆泵的技术关键问题：
干式螺杆泵的构造：
螺杆真空泵构造主要由螺杆转子、壳体、冷却循环和密封资料构成。传动轴衔接主动转子，经过同步齿轮带动从动转子的旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油光滑。轴承和壳体内部经过密封件来密封以到达无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆紧缩机在密封和光滑上构造相似。普通真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用连轴器与转子衔接，极少数用皮带或者链传动。
等螺距螺杆泵由于无内紧缩过程，排气温度十分高（110度左右），假如冷却效果不好，会形成转子和机壳变形，影响啜泣效果，所以冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是最常见的办法。在机壳本体，轴承外侧通冷却水，能够到达冷却壳体进而冷却转子的目的。莱宝公司在转子内部通水冷却，增加转子寿命，
并到达很好的冷却效果。但是该种构造设计（两段式），需求一定的技术及加工程度支撑。
用水冷有时不能到达冷却效果，因此通常在靠近排气端转子左近通冷却气体（多为氮气）。如今国外的主流螺杆真空泵都采用这种办法。这种办法有几个益处：第一，能冷却转子的机壳，降低排气温度；第二，当气体内含有颗粒物时，能避免颗粒物堆积或者发作化学反响惹起爆炸。
