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干式螺杆真空泵研讨现状与展望?

干式螺杆真空泵研讨现状与展望?

发布日期:2020-11-30 作者:宇宙星 点击:

目前各种真空泵的开展愈来愈遭到真空应用场所的影响,普通的真空系统无法满足清洁无油的耐腐蚀的请求,因而近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品曾经呈现更新换代的场面,大量的有油真空系统曾经被无油清洁的真空系统所替代。

干式真空泵

国外简直每一家较大的真空公司都消费各种不同型式的干式真空泵。螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90 年代初期呈现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、构造简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点占领市场,但其制造技术大局部为国外控制,我国尚处于起步阶段,市场对于干式泵有迫切的需求。


一、现状:


干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本目前曾经成为微电子、半导体、制药、精细加工等行业首选真空取得设备。日本在螺杆紧缩机根底上,很早就研发出了真空泵的多头转子型线并投入市场。德国几家真空设备公司也逐渐开发出了等螺距、变螺距转子型线,并在转子和机体冷却方面做了很多研讨。


螺杆泵的技术关键问题:


干式螺杆泵的构造:


螺杆真空泵构造主要由螺杆转子、壳体、冷却循环和密封资料构成。传动轴衔接主动转子,经过同步齿轮带动从动转子的旋转,在壳体上开有冷却水通道,用来冷却转子和排气口温度,同步齿轮及轴承用油光滑。轴承和壳体内部经过密封件来密封以到达无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆紧缩机在密封和光滑上构造相似。普通真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上,目前通用的是直连电机,用连轴器与转子衔接,极少数用皮带或者链传动。


等螺距螺杆泵由于无内紧缩过程,排气温度十分高(110度左右),假如冷却效果不好,会形成转子和机壳变形,影响啜泣效果,所以冷却机壳是必不可少的一个环节,水冷是最常见的办法。在机壳本体,轴承外侧通冷却水,能够到达冷却壳体进而冷却转子的目的。莱宝公司在转子内部通水冷却,增加转子寿命,


并到达很好的冷却效果。但是该种构造设计(两段式),需求一定的技术及加工程度支撑。

用水冷有时不能到达冷却效果,因此通常在靠近排气端转子左近通冷却气体(多为氮气)。如今国外的主流螺杆真空泵都采用这种办法。这种办法有几个益处:第一,能冷却转子的机壳,降低排气温度;第二,当气体内含有颗粒物时,能避免颗粒物堆积或者发作化学反响惹起爆炸。



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