由于某种原因引起电动机超负荷运转，甚至转不动，通常习惯上把这种现象就叫“卡死”真空泵发生卡死的原因是：弹簧损坏，使旋片受力不匀；装配不当，使某局部受力；由于进气口的滤网丢失或损坏，使外部脏物，金属屑、玻璃屑等落入泵腔内。此外，泵转子、旋片端面与端盖间的间隙过小，摩擦发热使旋片伸长或过热过紧的摩擦加之旋片硬度过大，与毛刺互相碾括，使端面产生深划痕，后烧结卡死。当轴和轴套配合过紧时，再加滑润油路不通畅，也会因互相粘碾卡死泵长时间不用，泵腔内生锈；泵在湿度较大的环境下运转或抽除潮湿气体，使泵油变成乳浊液或泵油结垢甚至结壳泵油粘度过大(冬天)；转子在启动瞬间被打裂；有些泵的高、低真空室气道上有半圆槽，其上压的橡皮板被压得太紧，堵死了中间气道通路等等，均易使泵卡死。这种毛病常常是很危险的，因在卡死瞬间，由于转子使电动机超负荷或转不动，易使电机烧毁。即使不烧电机，如不及早停车修理，则会辗坏泵腔，打坏旋片，扭坏转子，烧坏端面等，其后果总是很不好的。
真空泵油在运转时，通过真空泵油管把油箱里面的真空泵油带到泵体，在泵体里面运转后再通过回油管回流到油箱里面，因为真空泵运转时温度会达到70-105度，部分真空泵油会变成油气，随着尾气排到排气口，通过没有失效的油雾分离器（排气过滤器）过来下来，又回流到真空泵油箱里。
真空泵厂家的真空泵维修解决方法如下：
1、提供电机正确的电压。
2、将电机启动器过载保护的设定数据与电机铭牌的数据相对照，必要时，请校正。如果环境温度较高：可将设定值根据正常电机电流提高5%。
3、检查保险丝。
4、修理或更换电机（要专业的技术人员操作）。
5、确认电机已断电，断开风扇罩。用手盘动电机和真空泵。如果手盘不动，将电机从泵上拆下，分别检查真空泵和电机，如果真空泵卡死，请维修泵（要专业的技术人员维修检验）。
