无油干式机械真空泵（又简称干式真空泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
干式真空泵在进行工作的时候，就其相互之间其实也就是会没有什么摩擦，运转的时候其实也就是会比较的平稳，再者，就另外一个方面来讲，对于它的噪音上其实也就是会比较的低，工作腔当中其实也就是会没有什么润滑油，也正是因为如此，就干式螺杆泵其实也就是可以抽除含有大量水蒸汽以及其少量粉尘。
因为干式真空泵上的螺杆可以直接的就制成了变螺距结构，这个时候，它其实也就是会和等螺距结构进行比较，这个时候，我们其实也就是会注意到就其本身的极限真空上其实也就是会更高，就其消耗功率上其实也就是会更低，干式真空泵还具有节能以及其免维修等一系列的优点。
干式机械真空泵会应用在了低压化学气相沉积当中的多晶硅制备工艺；再者，就干式机械真空泵其实也就是会应用了半导体刻蚀工艺。处于这些生产工艺当中，这时候，其实也就是会用到或者是生成腐蚀性气体与相关的研磨微粒。
就干式机械真空泵的应用来谈，除了半导体工艺之外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入到泵油当中，且希望微粒排出泵之外会用到此设备；就其处于化学工业、医药工业或者是食品工业当中的蒸馏、干燥、脱泡以及其包装等，要注意去防止有机溶剂所造成污染，适合用干式真空泵。
