由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空泵排气过滤器，是一个归于耗资料类配件，在真空泵里边起到油气分离效果，能够防止真空泵油跟着尾气排出真空泵泵体，把过滤下来的真空泵油沉积下来回流到油箱里，当排气过滤器失效时，排气过滤器就起不到过滤效果，就会把真空泵油跟着尾气排出，具体表现就是在排气口有白色或都蓝色油烟。一般主张客户运用3-6个月需求替换，污染比较严重职业，替换时刻会缩短。
真空泵厂家的真空泵油积碳、发黑，像油泥相同。要把真空泵油替换掉，将泵从体系上拆下，用洁净的方盘接在放油孔下。旋下注油塞和放油塞，放出污油。断续发动电机4~6，使各真空小室内的油悉数排出。然后从各抽气管参加洁净的真空泵油200~300CC。断续发动电动机，再次清洗各真空室。这样经2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处参加洁净的真空泵油到视窗口的中心方位，旋紧注油塞不使漏气。加油特别注意：油加的过多，削减油的参加量；进气口长时刻抽大气，应加以防止。
随着环保力度的不断加大，原来一些用水环式真空泵的企业或厂家因大量排出污水而被迫停止使用这种类型的真空泵，必须要选用干式真空泵或闭式循环系统及大型无油真空机组代替水环式真空泵，比如立式无油往复泵和无油旋片泵，中山市宇宙星真空机电设备有限公司生产的干式真空泵具有真空度高，抽速快，无污染的优点。
由于无污水排放，所以干式真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业，特别需要在清洁高真空或者气体需洁净回收的环境中应用。无油真空泵的使用范围更广泛，应用于各种物品的吸收和输送，自动机械的物料供给设备。闭式循环系统的设计一是针对排放的有污染的液体进行循环利用，大大地减少了对环境的损坏；二是回收可利用的介质，降低了成产成本。
