真空泵从选购到使用过程中的注意事项有：
1、真空泵工作压强范围的选择：在选择真空泵的类型时，需要考虑被抽真空室要达到的极限压强和工作压强。每种真空泵都有一定的工作压强范围。
2、真空泵厂家的真空泵大小的选择：选择真空泵的大小，就是确定真空泵的抽气能力。真空泵大小的选择主要根据两点：a）根据被抽真空室工作时所需要的工作压强和室内的大排气流量来决定。每种泵都有其极限压强和佳抽速压强范围，真空室内压强要在泵的佳抽速压强范围内。b）根据真空室的大小和抽气时间要求来选择。 另外真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
3、正确地组合真空泵：由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
4、真空设备对油污染的要求：若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
