干式真空泵由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。
由于干式真空泵没有真空介质(真空泵油、水等)，通过干式真空泵的气体未受真空介质的污染。因而回收溶剂是洁净的。这样真空下冷凝部份转换成常压下冷凝，大大提高了溶剂类物料的回收率，对真空下难冷凝的物料特别有利。通过该流程配置，排放的尾气中已基本不含有机废气。另外，泵排空气体通过列管式冷凝器的壳程后，噪声也大为下降。
干式真空泵主要用于高纯净的真空工艺过程，真空度极高，因此可适应恶劣工矿，可处理含可凝性蒸汽的气体，含微小颗粒物的气体。它具有低耗能、抽速大、使用寿命长、免维修、无需润滑等特点，因此在石化、冶金、医药、生物工程、造纸、微电子工程等行业将全面替代技术含量低的真空设备。
近来，半导体芯片制造产业发展提出的要求，作为高真空泵不能有油蒸气存在，因此无油的涡轮分子泵、复合分子泵在该领域得到了广泛的应用。但是，前级泵还没有真正解决真空系统无油污染的技术难题。1984年以前研制过一些实验室和专门用途的干式真空泵。但价格昂贵、运行间隙过小，很难在商业上推广应用。国外首先研制了工业上实用的干式真空泵，将罗茨泵进行六级串联。之后又出现罗茨和爪型转子组合起来的无油泵。总之，相继出现了多种型式的干式泵，主要应用于半导体产业。
随着社会科技的发展，越来越多的行业，对清洁真空、环保等的需求严格，要求避免返油漏油的污染，因此干式真空泵得到了快速地发展。因为起步较晚，很多企业用户对干式真空泵的印象仅仅停留在爪式真空泵、螺杆真空泵少数几类上。
