低干式真空泵设备如真空运输.真空预浸.真空过虑.真空简单.真空减压蒸馏（钢液处理）等要求具备压力高.排量大的低真空泵抽 气发电机组，这种低真空抽气机组主泵常见往复真空泵.骨架密封式真空泵.水蒸汽放射性泵.水环真空泵.罗茨真空泵等。应用的低真空抽气机组 还需要根据被抽汽体清理水平.环境湿度或别的独特要求，配备必需的除尘设备.简单罐等构件。 水蒸汽在缩紧全过程中会凝固成水珠，并与泵混和组成混液，不只能使真空度着陆，也可以使泵腔与电机转子锈蚀，毁坏突面，使泵的 極限真空度着陆。因此，避免水蒸汽对真空泵的环境污染很重要。
避免的对策有： （1）采用含有莫墩器的气缸密封圈真空泵； （2）盛油各自器.离心式风机各自器或水油各自器，将混存水的机械设备油阀中断处理，处理过的油再注入泵中应用； （3）应用吸水能力强的单调济； （4）应用液态氮冷肼，不只可以合理地吸咐水蒸汽，与此同时还能够阻碍机械设备油阀向高真空室反流。 应用吸水能力强的单调济； 油扩散泵真空系统软件环境污染与预防 油扩散泵真空系统软件是应用zui广泛的真空系统软件，其得到真空度范畴为1.3×10-3～1.3×10-5Pa。油扩散泵真空系统软件组成的各种真空设备，长期性应用后，普遍的不足之处是真空度抽不上来，或真空度抽不上原先的極限真空水准。与真空房间内壁的油蒸汽环境污染.真空加工工艺全过程各种各样污染物质的环境污染相关，避免的法子是： 按时清理真空室； 按时对骨架密封机械设备真空泵和油金属材料扩散泵中断清理。---真空泵厂家
