针对这种不一样种类的干式真空泵，大家都期盼可以将其物理学规格减少。但这与真空泵的抽真空速度相分歧，由于真空泵的抽真空速度与真空泵的容量正相关，物理学规格小代表着容量也小。自然，还有一个危害真空泵的抽真空速度的关键要素，那便是转速比。为了更好地让小规格的真空泵的抽真空速度与大容量真空泵的抽真空速度相符合，就必须提升 它的转速比。而要想更改真空泵的转速比有二种方式，一是更改开关电源的頻率，即选用软启动器;二是更改减速箱的减速比。在其中，选用软启动器的益处是能够出示一个闭环控制系统，但在大负荷下非常容易造成扭距的损害。而更改减速箱的减速比是一种十分经济发展的方式，自然，它只有出示不可控性的单一转速比。
如今，能够见到干式真空泵拥有 这般多的不一样设计方案，他们分别拥有 自身的特点和优点和缺点。一直以来，应用成本费是一个危害大家挑选真空泵的关键要素。愈来愈多的真空泵客户意识到也应当将真空泵运作的可靠性考虑到进来。由于真空泵的出现意外失败会造成设备的应用高效率减少，危害到圆晶的生产制造和供货周期，乃至导致所生产加工圆晶的损毁和设备其他构件的毁坏。因为螺杆式压缩机设计方案为单极设计方案，同多级离心泵如圆裂片式，爪式及其整体式对比，其在零件的应用总数上降低了60%。这促使其在可靠性和未来的检修成本费上面有非常大的优点。
综合性考虑到，假如客户觉得用电量对他而言更为关键而N2使用量对他而言最不重要，那麼挑选內部缩小型螺杆式压缩机能够是一个好的挑选。但广泛来说，对尾气处理愈来愈严苛的规定促使未来对降低N2的使用量越来越更关键。假如你期待用单一种类的泵不历经更改来解决各种各样不一样的半导体材料加工工艺，而促使你的库存控制简单，那麼外界缩小型螺杆式压缩机就是你最好是的挑选。
依据实际情况，综合性之上全部设计方案种类的优势一定是最理想化的挑选，但现阶段还不大可能。因而，这就规定使用人最先要了解在干试泵的设计方案上拥有 这般多的不一样设计方案种类，从而依据本身加工工艺特性掌握各种各样不一样种类泵的设计方案对其危害。那样作出的挑选才可以尽量减少其应用成本费，而得到 一个使用寿命较长的平稳的超滤装置。
