真空泵应能够在其工作压力下排出真空设备工艺过程中产生的所有气体量。正确组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，即使选择某个泵也可能不能满足抽气要求，需要组合几个泵，相互补充以满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。
真空泵在大气压下无法工作，需要真空预处理，真空泵的出口压力低于大气压，需要前级泵，因此需要组合使用泵。 真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油式真空泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
真空泵应安裝在路面牢固牢固的场地，周边应留出充足的空间，有利于查验、维护保养、维护保养。真空泵基座下应维持路基水准，基座四角处提议垫避震橡皮擦或用地脚螺栓浇制安裝，保证机械泵运行稳定，震动小。
真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）
