油式真空泵是通过油来密封，润滑，降温，这个类型的油式真空泵可以接受一点水分，而无油真空泵由于叶片材质多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨胀，损坏，但是无油油式真空泵用起来比较干净，在一些环境要求比较高的地方可以使用。
油式真空泵相比同抽速的无油式旋片泵而言，油式真空泵真空度更高一些。油式旋片油式真空泵在连续运作中由于有机械密封件与润滑油的双层密封，使得油式真空泵在抽除、压缩与排气的一系列动作中更稳定，气体泄漏的机率减低。
油式真空泵对水份的敏感度比无油式真空泵的更容易适应，无油式真空泵由于叶片的限制，旋片在接触水份后容易膨胀断裂，对水份的敏感度高；油式真空泵独特的油式真空泵结构设计，可有效分离油水，故而在有限度水份的行业被广泛应用。在越来越注重环保的趋势下，自身带油水分离器结构的油式真空泵，更是得到了大众的认可与使用，有效保护环境清洁。例如，线路板行业，玻璃制程生产等。
油式真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的油式真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的油式真空泵，我们称之为油式真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的油式真空泵，由于不同的油式真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。
真空泵是主要的真空装备、从产生真空原理上分为：容积式真空泵（如液环泵，螺杆泵，罗茨泵等）；动量传递式真空泵（如分子泵：喷射真空泵:扩散泵均属于此类）；气体捕集式真空泵（如钛升华、锆铝合金吸气泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等）。
