干式真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
靠活塞往复运动使泵腔（气缸）的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵，又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等。
爪式真空泵由多级转子构成，其中每级都有2个转子构成，两个转子反方向旋转，吸气口与泵腔接通，泵腔容积变大而吸气，当转子关闭吸气口时吸气结束，以后泵腔变小而压缩气体，当排气口打开后泵腔排气，排气口关闭时则排气完毕，如此循环工作。
涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中，有两个方向对应的固定涡旋盘，一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。
真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。
