2013年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。
目前市面上的干式真空泵多用夹套冷却水对转子进行冷却。而有的立式螺杆干式真空泵的冷却系统更独特，比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气体冷却，很好的维持内表面的温度，不至于温度过高或过低，始终维持在一个合适的温度，以防被抽的热敏性物质分解，及高温易聚合的物质，比如宇宙星真空机电设备的干式真空泵就比较适合。
现在，可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计，它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来，使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计，同多级泵如圆裂片式，爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
干式真空泵如果是在初次试泵时卡住不能启动和运转，一般要考虑是不是在管路连接和安装时有金属异物（如螺丝、焊渣等）掉入泵内卡住转子导致泵不能启动和运转。
在正常使用期间，停泵以后无法再次启动，一般是因为所抽气体中的冷凝物料滞留在泵体内在常温下凝固致使2个转子之间以及转子与泵体之间发生粘结而无法启动，或者是因为所抽气体中粉尘太多滞留泵体内挤住转子不能转动。如果发生真空泵不能启动和运转的现象，一般情况下先不要拆解泵体，有异物的可以试试人工反转取出异物，使用后的泵可以试试用溶剂溶解处理，确实无法解决的再考虑拆解泵体进行清理。
