干式真空泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是:能在大气压到10-2Pa 的压力范围内工作;在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,即称为无油真空泵(也称为干式真空泵)。
干式真空泵与油泵相比真空度低,抽气量小,但体积小巧,易于安装,维护简单,移动方便,不产生油烟,不污染环境,尤其在要求较高的实验室使用较好,也是实验室常备的设备之一。
在选购干式真空泵时要先确定要求工作的真空度,如果需求的真度高,而选的真空泵就要高于需求的真空度,否则达不到抽真空的要求,就会达不到工作要求。其次是干式真空泵抽气速率,选型时就要稍大于所需求的抽气速率,这样就能更好的满足需要。看抽取的气体有无腐蚀性,有腐蚀的气体会腐蚀泵,必须要用特殊的材质才能满足需求。
干式真空泵在结构设计上,如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油,也有用合成油,如PFPE油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在,严格来说不是全无油的泵,但经分析,这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,并无影响。
对于普通的干式真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果,同时噪音非常小,具有很好的环保效果。对此,中山市宇宙星真空机电设备有限公司预测:受惠于国家相应的低碳环保优惠政策,以及社会各界日益增强的节能环保意识,干式真空泵或将成为未来真空泵市场上的“抢手货”。