真空装置如真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空单调、真空脱气（钢水处置）等恳求具有工作压力高、排气量大的低真空泵抽气机组，这类低真空抽气机组主泵常用往复式真空泵、油封式真空泵、水蒸气放射泵、水环泵、罗茨泵等。运用的低真空抽气机组还需根据被抽气体清洁程度、湿度或其他特殊恳求，配置必要的除尘器、单调罐等部件。
真空中放置一对电极，加上高压时，在一定的电压下也会产生电极之间的电击穿。它的击穿与空气中的电击穿有很大不同。空气中的击穿是由于气体中的少量自由电子在电场作用下高速度运动，与气体分子碰撞产生较多的电子和离子，新生的电子和离子又同中性原子碰撞，产生更多的电子和离子。这种雪崩式的电离过程，在电极间形成了放电通道，产生了电弧。而真空中，由于压强较低，气体分子极少，在这样的环境中，即使电极间隙中存在着电子，它们从一个电极飞向另一个电极时，也很少有机会与气体分子碰撞。因而不可能有电子和气体分子碰撞造成雪崩式的电击穿。正是因为气体分子十分稀少，真空间隙电击穿需要在非常高的电压下出现场致发射等其它现象时才有可能形成。从理论上推测，电场强度需达到108V/cm以上时才会造成电击穿，实际上真空间隙的绝缘强度由于一系列不利因素例如电极表面粗糙度、洁净度等的影响，将低于理论计算值几个数量级。
真空灭弧室中的真空度很高，一般为10-3～10-6 帕，此时真空间隙的绝缘强度远远高于1 个大气压的空气和SF6 的绝缘强度，比变压器油的绝缘强度还要高。正因为真空的绝缘强度很高，真空灭弧室中的所有电气间隙都可以做得很小。例如12kV真空灭弧室的触头开距只有8～12mm，40.5kV真空灭弧室的触头开距也只要18～25mm，真空灭弧室中的其它电气间隙也在此尺度范围。
真空泵厂家的超高真空系统的全压力侧童除了早采用的B-A型超高真空规外，又发展了许多极高真空规，如冷阴极磁控规、抑制规和弯注规等。但对许多研究工作来说，仅靠全压力数据是不够的。例如真空系统中的吸附、凝结、脱附过程等，它涉及到容器表面和系统内部物质和残余气体分子的相互作用。这时获得系统内气体组分和分压力的数据比全压力数据更能说明问题。
真空条件下的气体分析和分压力测量通常是由动态质谱计完成的。第一个动态质谱计—射频速度过滤器是于1926年提出的。其它的动态质谱计如射频质谱计、回旋质谱计、飞行时间质谱计和四极质谱计都是于20世纪40年代末到50年代初提出的。早期的仪器主要用于同位素测量、带电粒子的质荷比测量。但当时正值真空技术处于向超高真空发展的重要阶段，因此这些质谱计出现不久就被作为专用的真空质谱计了。
