干式真空泵在很多应用场合达到了理想的使用效果，工作容积中无油，更加耐用，可靠。
1、用于低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2、干式真空泵用于半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求；
4、干式真空泵适用于化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，防止了有机溶剂造成污染；
5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
干式真空泵在应用中维护少，更加省时省力，同时也减少了污染的危害。
干式无油真空泵如来果操作或维护不当，就会造成冒烟等故障，这时候我们首先要了解原因，然后找出解决方案。
1、冒烟，如果是干式无油真空泵刚刚开始运转有冒烟的现象，属于正常，如果长时间在冒烟就是不正常了。
解决方法：冒烟说明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了，冒烟会结束。
2、喷油，说明进气口外有大量的漏点，甚至是进气口暴露大气。
解决方法：①封住干式无油真空泵的进气口使泵运转，如果不喷油的话，说明有漏点；
②排气阀片损坏，检查排气阀片是否损坏，更换坏的排气阀片。
干式无油真空泵故障分别由不同的原因引起的，零部件损坏要及时的更换，防止引起大的故障。
干式真空泵温度高一直是困扰用户的大问题，解决这个问题首先要了解导致这种问题出现的原因是什么，进行总结然后做出技术处理。
一、原因
①风扇转速低，风压，风量小。电机功率大，工作电流大，发热量大
②风扇叶片数较少，产生的风量小。
③真空泵电机所在母线电压380V，由于电缆压降及负荷分配不均，电机实际所加电压只有365V，电压偏低造成运行电流大。
④电动机附有灰尘、油污，降低了散热能力。
二、解决方法
电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。
将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机服装学校另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却；定期清除电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力；将干式真空泵所在母线电压调整为400V。
