许多使用干式真空泵的用户会碰到一种问题：返油，除了泵没有防返油的装置这种情况除外，在泵停止工作时这种现象更为明显，这时候采取必要的措施便可以减少损失。
干式真空泵的放置位置与返不返油没有关系，在停泵时切断油路，消除泵腔负压，降低液位差，减少返入油量，是防止返油的基本原则：
①轴封河静密封部位要可靠，适时更换。
②把排气阀附近的油与其余油隔开，油位只略高于隔墙。
③阀座平面要平整，阀片加弹力。
④设置止回阀结构，干式真空泵停泵时自动关闭进油孔。
⑤把油箱和排气阀移在侧面，以降低油位，减少油量。
⑥在油孔中加管子，使油位仅略高于进油口。
⑦泵口装充气阀。
⑧设置干式真空泵和辅助结构，停泵时切断油路。
⑨停泵后可以给抽气口充入气体，保证泵的两端压力平衡。
⑩进气口的防反油阀建议更换。因为泵抽真空，当泵停止后，真空腔内大气压比外面的低，会把泵中的油抽出去，造成返油。
泵体返油原因：每次干式真空泵抽真空时，油不倒流，但当真空泵停止工作，管路里就会有油倒流。当泵停止工作时，有油孔与泵腔相通或排气阀、轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀等密封不严现象，由于液位差的存在和重力作用以及泵腔处于真空状态时油箱与泵腔的压差作用，油就会返入泵腔，油量足够大时，油还会返到进气管道中，造成下次起动时阻力大，旋片和转子受力大，排气阀受力大，起动困难，影响零部件寿命，降低泵的可靠性。干式真空泵返油不是简简单单的零件老化这么简单，造成的损失不可忽视，不仅降低了泵的可靠性，而且造成了油的浪费，因此要及时找出解决方案。
干式真空泵虽具备功耗小，故障率低等优势，但是启动之前的检测工作还是不能省略，有利于降低设备投资与运行费用。
一、检查干式真空泵系统各阀门处于启动前位置。各压力表、继电器、水位计考克打开，分离器和干式真空泵底部排水门关闭，补水（凝结水）总门打开，补水旁路关闭，板式换热器进出水门打开。
二、联系电气送上干式真空泵组控制箱电源及干式真空泵马达电源。
三、向干式真空泵系统内注工作水，工作水位升至液位计最高值时补水电磁阀自动关闭，停止补水。
四、启动密封水泵，检查密封水压约0.07MPa（表压力），密封水泵运行正常，分离器水位正常。
五、启动干式真空泵，检查干式真空泵运行正常，轴端盘根应有少量水滴下，盘根不发热。
六、当干式真空泵进气口真空达规定值时，干式真空泵进口隔离蝶阀自动打开，开始对凝汽器抽真空。
干式真空泵可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体，抽气量大，经过检测的泵体满足了各个生产需求。
